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精密加工和超精密加工的范疇

精密加工的精度：

當前，精密加工是指加工精度為1～0.1μm、表面粗糙度為Ra0.1～0.025μm的加工技術;超精密加工是指加工精度高于0.1μm、表面粗糙度Ra小于0.025μm的加工技術，因此，超精密加工又稱之為亞微米級加工。但是，目前超精密加工已進入納米級精度階段，故出現了納米加工及其相應的技術

從精密加工和超精密加工的范疇來看，它應該包括微細加工、超微細加工、光整加工、精整加工等加工技術。

微細加工

微細加工技術是指制造微小尺寸零件的加工技術;超微細加工技術是指制造超微小尺寸零件的加工技術，它們是針對集成電路的制造要求而提出的，由于尺寸微小，其精度是用切除尺寸的絕對值來表示，而不是用所加工尺寸與尺寸誤差的比值來表示。

光整加工

光整加工一般是指降低表面粗糙度和提高表面層力學機械性質的加工方法，不著重于提高加工精度，其典型加工方法有珩磨、研磨、超精加工及無屑加工等。實際上，這些加工方法不僅能提高表面質量，而且可以提高加工精度。

精整加工

精整加工是近年來提出的一個新的名詞術語，它與光整加工是對應的，是指既要降低表面粗糙度和提高表面層力學機械性質，又要提高加工精度(包括尺寸、形狀位置精度)的加工方法。

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